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スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応し10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能。高性能かつ低価格を実現したハイグレード縦型減圧CVD装置。
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横型減圧CVD装置:3~12インチ対応、横型プラズマCVD装置:3~8インチ対応
HG-21に搭載された当社オリジナルのWindowsプロセスコントローラーはグラフイカルな各種装置・PLCを制御を可能にしますので、産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用してご活用いただいております。
製品
中古製品入荷情報
PXJ-200 LH 中古機 1台在庫あり
ASM社製PXJ-200
RH(ライトハンド)SOLDOUT
LH(レフトハンド)在庫有り
PC制御改造可能・FANUCロボット化可能
その他:CRT→液晶モニター可・電磁弁他・DOOR改造・ヒーター制御改造等
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FANUC製6軸ロボットへのリプレイス
ASM社製プラズマCVD装置PXJ-200に搭載された三菱製ロボットからFANUC製6軸ロボットへのリプレイスが可能です!!
三菱製5軸ロボットオーバーホール
PXJ-200等に搭載された三菱製ロボット本体、ギヤ交換調整、コントローラーを含むオーバーホール作業
ASM社製「Eagle-10」等に搭載のRF電源
日本ASM社製「Eagle-10」等に搭載されている電気興業社製RF電源「ST-1E」「STC-1E」等の修理・保守点検・カスタマイズ・中古機器移設によるセッティング等
その他メーカーサービス・サポートの終了した半導体関連機器の修理、カスタマイズなどご相談ください。